[发明专利]一种照明均匀性补偿装置有效
| 申请号： | 201210187778.9 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102722090A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 何毅;张海波;甘大春;林妩媚;邢廷文;廖志杰;卢亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照明视场，遮拦部分照明光，达到调整扫描视场积分能量均匀性的目的。该均匀性补偿装置的补偿单元为长条形薄板，插入照明视场的一端为多边形或圆弧形；补偿单元分两层排布，互相遮盖另一层两补偿单元间形成的间隙。本发明有效地增加照明视场的划分等份数量，减小每等份的宽度，从而提高补偿装置的补偿精度，同时并不增加补偿单元的个数，不会增加机械设计和控制系统设计的难度，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 均匀 补偿 装置 | ||
【主权项】：
一种照明均匀性补偿装置，其特征在于包括：沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件；每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对，各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照明视场，遮拦部分照明光，达到调整扫描视场积分均匀性的目的；所述补偿单元为插入照明视场一端的做成多边形或弧形结构的薄板。
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