[发明专利]一种多晶硅铸锭炉的冷却方法及冷却装置无效
| 申请号： | 201210178791.8 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102732961A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 樊海艳 | 申请（专利权）人： | 沈阳森之洋光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110141 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多晶硅铸锭炉的冷却方法，将现有铸锭炉内的隔热笼结构进行改进；在铸锭炉的隔热笼内增加定向温度传导装置，将隔热笼内形成两个封闭的腔室；在下腔底部设有隔热门；隔热门下面增设制冷盘；通过关闭、打开隔热门对坩埚内多晶硅料的加热熔化进行冷却结晶。当下腔室隔热门关闭时，加热器对坩埚进行加热，使多晶物料熔化；当隔热门打开时下腔与制冷盘相通，通过控制上、下腔加热功率形成温度梯度，并通过定向温度传导使熔化后的原料降温，以便多晶硅晶体定向、速度可控的结晶。该冷却方法通过隔热门，巧妙地将炉内冷热分隔开，形成上下温度梯度，通过控制隔热门的开关大小、速度来控制冷却速度；该方法结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 冷却 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉的冷却方法，基于现有加热笼结构的铸锭炉，其特征在于：将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进；第一步，首先在铸锭炉的隔热笼内增设一隔温门，然后将隔热笼内形成两个封闭的腔室；第二步，然后其中一个腔室内设有用于熔化硅料的坩埚及加热装置；第三步，最后在另一个腔室内设置有换热装置，通过打开隔温门对坩埚均匀降温，实现晶硅均匀生长。
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