[发明专利]应力检测元件、传感器组件以及电子设备

摘要

本发明提供一种应力检测元件，传感器组件以及电子设备。该应力检测元件具备：传感器基板，具备具有相互平行的第一直线部及第二直线部的开口部；支撑膜，用于封闭开口部；第一压电元件，在俯视图中，以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上；第一弹性部，在俯视图中，以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上；第二弹性部，在俯视图中，以沿第二直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上，第一弹性部的第一弹性端部以及第二弹性部的第二弹性端部之间存在间隔。

主权项

一种应力检测元件，其特征在于：所述应力检测元件具备：支撑体，具备具有相互平行的第一直线部及第二直线部的开口部；支撑膜，形成在所述支撑体上，用于封闭所述开口部；第一压电元件，在从膜厚方向观察所述支撑膜的俯视图中，以沿所述第一直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，通过发生弯曲来输出电信号；第一弹性部，在所述俯视图中，以沿所述第一直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上；以及第二弹性部，在所述俯视图中，以沿所述第二直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，其中，所述第一弹性部被配置为在第一弹性端部与第二弹性端部之间存在间隔，所述第一弹性端部为所述第一弹性部在所述开口部的内侧区域的端部边缘，所述第二弹性端部为所述第二弹性部在所述开口部的内侧区域的端部边缘。