[发明专利]基于折叠梁结构的一体差动式石英振梁加速度计

摘要

本发明公开了一种基于折叠梁结构的一体差动式石英振梁加速度计，其振梁上镀有金属电极，振梁的一端与质量块连接，振梁的另一端与固定框连接；质量块的四个角分别通过四个折叠梁与固定框连接；固定框通过一连接臂与隔离框连接；隔离框通过另一连接臂与安装框连成一体。振梁与质量块之间通过两个空腔隔开；质量块的左右两侧与固定框之间通过空腔隔开；折叠梁与质量块的上下方和固定框之间通过空腔隔开；固定框与隔离框之间通过空腔隔开。该加速度计是在石英基片上采用常规的湿法腐蚀加工工艺去除构形空腔后得到。本发明设计的加速度计克服了已有技术中两个差动传感头间的机械耦合导致的测量盲区问题。

主权项

一种基于折叠梁结构的一体差动式石英振梁加速度计，该加速度计是在一石英基片上加工制得，其特征在于：所述石英振梁加速度计上的左振梁(1)的一端与左质量块(2)连接，左振梁(1)的另一端与左固定框(3)连接；左质量块(2)的四个角分别通过第一折叠梁(7A)、第二折叠梁(7B)、第三折叠梁(7C)和第四折叠梁(7D)与左固定框(3)连接；左固定框(3)通过第二连接臂(6)与左隔离框(4)连接；左隔离框(4)通过第一连接臂(5)与安装框(10D)连成一体；左振梁(1)与左质量块(2)之间通过第五空腔(105)、第六空腔(106)隔开；左质量块(2)的左侧与左固定框(3)之间通过第三空腔(103)隔开；左质量块(2)的右侧与左固定框(3)之间通过第四空腔(104)隔开；左质量块(2)的下方与左固定框(3)之间通过第七空腔(107)隔开；左固定框(3)与左隔离框(4)之间通过第二空腔(102)隔开；所述石英振梁加速度计上的右振梁(51)的一端与右质量块(52)连接，右振梁(51)的另一端与右固定框(53)连接；右质量块(52)的四个角分别通过第五折叠梁(57A)、第六折叠梁(57B)、第七折叠梁(57C)和第八折叠梁(57D)与右固定框(53)连接；右固定框(53)通过第四连接臂(56)与右隔离框(54)连接；右隔离框(54)通过第三连接臂(55)与安装框(10D)连成一体；右振梁(51)与右质量块(52)之间通过第十一空腔(115)、第十二空腔(116)隔开；右质量块(52)的左侧与右固定框(53)之间通过第九空腔(113)隔开；右质量块(52)的右侧与右固定框(53)之间通过第十空腔(114)隔开；右质量块(52)的上方与右固定框(53)之间通过第十三空腔(117)隔开；右固定框(53)与右隔离框(54)之间通过第八空腔(112)隔开。