[发明专利]基于双旋转微镜的光学扫描探针有效
| 申请号： | 201210167500.5 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102670179A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 徐英舜 | 申请（专利权）人： | 凝辉(天津)科技有限责任公司 |
| 主分类号： | A61B5/00 | 分类号： | A61B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市高新区华*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，它包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接；经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 旋转 光学 扫描 探针 | ||
【主权项】：
一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片；微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接。
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