[发明专利]激光剥离LED衬底的系统及方法有效
| 申请号： | 201210160162.2 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102699537A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 高耀辉;张昊翔;金豫浙;封飞飞;万远涛;李东昇;江忠永 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/04;B23K26/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光剥离LED衬底的系统及方法，所述系统包括：飞秒脉冲种子激光源；倍频晶体，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行多倍频，倍频系数大于等于2，该倍频晶体优选为三倍频晶体；激光扩束聚焦装置，对所述倍频晶体出射的飞秒脉冲激光进行扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层，所述线状光斑聚焦在所述外延层和衬底的交界面处。本发明能够避免剥离工艺中的热损伤，而且有利于提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 剥离 led 衬底 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种激光剥离LED衬底的系统，其特征在于，包括：飞秒脉冲种子激光源；倍频晶体，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行多倍频，倍频系数大于等于2；激光扩束聚焦装置，对所述倍频晶体出射的飞秒脉冲激光进行扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层，所述线状光斑聚焦在所述外延层和衬底的交界面处。
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