[发明专利]采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法有效
| 申请号： | 201210138046.0 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102645701A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;王毅强;商惠琴;王明华;杨建义 | 申请（专利权）人： | 上海光芯集成光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;C03C21/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200072 上海市闸*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法，该方法是通过将玻璃基片在高温下熔融的多组分熔盐中进行离子交换，在玻璃基片上形成表面光波导，所述的多组分熔盐中包括以下组分和重量百分含量：掺杂离子的硝酸盐(0.01～10)wt％，KNO3(0～20)wt％、NaNO3(10～90)wt％、Mg(NO3)2(0～50)wt％、Ca(NO3)2(5～50)wt％，以及对应于玻璃基片材料中玻璃形成体氧化物的粉末(0～0.5wt％)。与现有技术相比，本发明具有熔融温度底、对玻璃基片腐蚀作用小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 离子交换法 玻璃 表面 制作 波导 方法 | ||
【主权项】：
一种采用离子交换法在玻璃基片表面制作光波导的方法，该方法是通过将玻璃基片在高温下熔融的多组分熔盐中进行离子交换，在玻璃基片上形成表面光波导，其特征在于，所述的多组分熔盐中包括以下组分和重量百分含量：掺杂离子的硝酸盐(0.01～10)wt％，KNO3(0～20)wt％、NaNO3(10～90)wt％、Mg(NO3)2(0～50)wt％、Ca(NO3)2(5～50)wt％，以及对应于玻璃基片材料中玻璃形成体氧化物的粉末(0～0.5wt％)。
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