[发明专利]中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置及其方法

摘要

本发明公开了一种中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置及其方法。本发明的技术特点是在传统径向剪切干涉检测方法的基础上，通过提高望远镜系统的剪切率，并利用反射镜在竖直方向的倾斜将缩束光斑移至扩束光斑的边缘区域，使缩束光斑脱离扩束光斑中因目标物遮挡所形成的阴影处形成干涉，实现了有目标物中心遮挡情况下对特定空间区域的径向剪切干涉检测。本发明的优点在于解决了采用传统径向剪切干涉方法无法对含有目标物中心遮挡的区域进行波前检测的难题，同时，由于干涉区域移至扩束光斑边缘，使得干涉图的处理可以采用较为简单的相位解包方法，而非径向剪切波面迭代重构，在一定程度上简化了干涉图的处理过程，缩短了处理时间。

主权项

1. 一种中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置，其特征在于包括激光器(S1)、准直扩束系统(S2)、目标物(S3)、待测区域(S4)、分光镜(S5)、第一反射镜(S6)、高剪切比大口径望远镜系统(S7)、第二反射镜(S8)、成像透镜(S9)和探测器(S10)；其中，目标物(S3)置于待测区域(S4)中心，激光器(S1)、准直扩束系统(S2)、目标物(S3)、分光镜(S5)、第一反射镜(S6)、高剪切比大口径望远镜系统(S7)、第二反射镜(S8)、分光镜(S5)、成像透镜(S9)以及探测器(S10)在第一条光路中顺序排列；激光器(S1)、准直扩束系统(S2)、目标物(S3)、分光镜(S5)、第二反射镜(S8)、高剪切比大口径望远镜系统(S7)、第一反射镜(S6)、分光镜(S5)、成像透镜(S9)以及探测器(S10)在第二条光路中顺序排列；第一反射镜(S6)和第二反射镜(S8)均与竖直方向成夹角，为，使经过高剪切比大口径望远镜系统(S7)的缩束光和扩束光偏离原光轴传播。