[发明专利]基板的检测方法和装置无效
| 申请号： | 201210118199.9 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102645435A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 郑文达 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/02;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板的检测方法，包括：对基板进行定位，对基板进行光学扫描，确定基板是否存在缺陷，若存在缺陷，则确定缺陷位置；获取基板的测量点位的尺寸图片，并传送获取的尺寸图片；计算基板上的线路的宽度，同时获取缺陷位置的缺陷图片。本发明还提供了相应的基板的检查装置。本发明所提供的一种基板的检查方法和装置，将基板的缺陷检查和线路宽度测量同时完成，减少了基板的制程时间，并提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基板的检测方法，其特征在于，包括：对所述基板进行定位；对基板进行光学扫描，确定所述基板是否存在缺陷，若存在缺陷，则确定缺陷位置；获取基板的测量点位的尺寸图片，并传送获取的尺寸图片；计算基板上的线路的宽度，同时获取缺陷位置的缺陷图片。
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