[发明专利]一种基于机薄膜晶体管甲烷气体传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201210107841.3 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102636552A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 钟建;于军胜;张霖;于欣格 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/60 | 分类号： | G01N27/60 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于机薄膜晶体管甲烷气体传感器及其制备方法，属于气体传感器应用领域，一种新型的检测甲烷气体的方法，特点是其低廉的成本和简单的制备过程。本发明采用有机薄膜晶体管底栅底接触型结构，它包括衬底，位于衬底上的栅电极、位于栅电极上的绝缘层，位于栅极绝缘层上的源电极和漏电极，源漏电极上面为具有气体探测功能的有机层。主要用于检测环境中的甲烷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜晶体管 甲烷 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于机薄膜晶体管甲烷气体传感器,包括玻璃衬底（1）、栅电极（2）、栅极绝缘层（3）、漏电极（4）源电极（5）、具有气体探测功能的有机层（6）组成，其特征在于：栅极绝缘层（3）位于刻蚀有栅极（2）的衬底（1）上，源电极（5）和漏电极（6）位于栅极绝缘层（3）之上，有机层（6）连接源电极（5）和漏电极（4）。
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