[发明专利]一种去除BD-R母盘沟槽顶部倒角的方法

摘要

本发明涉及一种去除BD-R母盘沟槽顶部倒角的方法，包含以下步骤：准备待刻录基片、烘干、激光刻录、显影、溅射、电镀，其中在准备待刻录基片时，省去传统工艺中的冲水步骤，从而留有一层底胶，在底胶层甩干旋涂光刻胶之后，底胶上层与光刻胶下层之间反应生成一层不容易显影的中间层反应物，使得显影到达中间层反应物时，沟槽边沿的显影停止，从而阻止了BD-R母盘沟槽顶部倒角的形成，提高了母盘的质量。

主权项

一种去除BD‑R母盘沟槽顶部倒角的方法，其特征在于：包含以下步骤：准备待刻录基片； a、清洗玻璃基片； b、往玻璃基片上旋涂底胶，所述底胶材料为二硅烷和水； c、使底胶旋涂完毕的玻璃基片静止，待底胶下层的与玻璃基片接触的部分与玻璃基片反应形成一层分子层厚度的薄膜； d、将玻璃基片旋转甩干至底胶中的水全部甩出； e、对甩干后的玻璃基片进行光刻胶的旋涂，使底胶上层与光刻胶下层之间反应生成一层中间层反应物；将旋涂过光刻胶的玻璃基片进行烘干；将烘干后的玻璃基片进行激光刻录；将激光刻录后的玻璃基片进行显影；将显影后的玻璃基片上淀积需要厚度的金属镍。