[发明专利]摩擦力显微镜

摘要

本发明提供一种摩擦力显微镜，其中具备摩擦力的计算机构，分别根据从悬臂的挠曲方向的位移信息求出的挠曲灵敏度及从扭曲方向的位移信息求出扭曲灵敏度来计算悬臂的有效探针高度及扭曲弹簧常数，并使用该计算值。从而在摩擦力显微镜中，能够进行悬臂的定量的摩擦力的测定。

主权项

一种摩擦力显微镜，其特征在于，具有在前端带有探针的悬臂，具备使所述探针相对于与该探针对置配置的样本表面而在平行的X‑Y平面移动的XY驱动机构及沿与所述样本表面垂直的Z方向移动的Z驱动机构、以及检测悬臂的挠曲方向的位移信息及扭曲方向的位移信息的位移检测单元，所述摩擦力显微镜具备摩擦力计算单元，分别根据从所述悬臂的挠曲方向的位移信息求出的挠曲灵敏度及从所述扭曲方向的位移信息求出的扭曲灵敏度来计算从悬臂的扭曲的中心至所述探针的前端的探针高度h及悬臂的扭曲所导致的扭曲弹簧常数Kt，以作为为了从基于所述扭曲方向的位移信息的扭曲位移信号来计算摩擦力所需要的参数，根据该计算出的探针高度h及扭曲弹簧常数Kt来计算摩擦力。