[发明专利]排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台

摘要

本发明涉及半导体光刻领域，提供了一种排气管道自动清洁装置，其设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，第一管与涂胶显影机台的涂胶腔室连通，排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，喷嘴设置于所述第一管的内壁，排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。本发明还提供了一种涂胶显影机台，包括设于涂胶腔室内的晶圆承载台以及与所述涂胶腔室连通的排气管道，排气管道上设有如上所述的排气管道自动清洁装置。通过喷嘴可以向排气管道的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管喷洒清洗溶剂，达到在不拆洗排气管道的前提下及时清洗累积在排气管道内壁上的光阻粉尘颗粒的目的。

主权项

一种排气管道自动清洁装置，设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，所述第一管与所述涂胶显影机台的涂胶腔室连通，其特征在于，所述排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，所述喷嘴设置于所述第一管的内壁，所述排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。