[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置

摘要

本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块和光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；以及第二电极，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；并且第二基板具备设置了第二反射膜的可动部、以及保持可动部并允许可动部在基板的厚度方向移动的连接保持部，连接保持部围绕可动部连续地形成且其厚度尺寸小于可动部的厚度尺寸，第二电极设置在第二基板的厚度尺寸比连接保持部大的部分。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板，具有透光性；第二基板，与所述第一基板相对，具有透光性；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，并且与所述第一反射膜隔着间隙相对；第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，并且与所述第一电极相对；以及防止挠曲膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面的相反侧的面上，防止所述第二基板挠曲，并且所述第二基板具备设置有所述第二反射膜的可动部、以及保持所述可动部且允许所述可动部在基板厚度方向上移动的连接保持部，所述连接保持部围绕所述可动部连续形成，在所述可动部的厚度尺寸设为第一厚度尺寸并且所述连接保持部的厚度尺寸设为第二厚度尺寸时，所述第二厚度尺寸小于所述第一厚度尺寸，所述第二电极以及所述第二反射膜设置在所述第一厚度尺寸的部分上。