[发明专利]一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法有效
| 申请号： | 201210014024.3 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN102530841A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王海容;关赪;乔智霞;张碧珂;苑国英 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法，其特征在于，以高精光学玻璃元件为研究对象，在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上，结合湿法腐蚀工艺，采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀，从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学玻璃 高深 微结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)取光学玻璃片作为样品，在其一面用显微硬度计制作规则排列的二维压痕，每个压痕的四个对角线有四条放射线形裂缝，这个放射形裂缝就是用于制作高深宽比的显微结构；(2)用石蜡将玻璃片样品周边包裹起来，只留下有压痕的地方不被包裹；(3)配制BOE溶液，即HF和NH4F的混合溶液待用，其中NH4F和HF的体积浓度比是6∶1；(4)将包裹有石蜡的玻璃片样品进行超声清洗，干燥后放在盛有BOE溶液的培养皿中，使BOE溶液淹没玻璃片样品，并将培养皿放入25℃恒温水浴中进行腐蚀至少10分钟后取出；(5)重复步骤(4)直至获得所需要深宽比裂缝的微结构。
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