[发明专利]一种改进型的基于聚酰亚胺的湿度传感器在审
| 申请号： | 201210013098.5 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103207215A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 宁文果;罗乐;徐高卫;李珩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改进型基于聚酰亚胺的湿度传感器，其特征在于，在电极板之间涂覆聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感材料，然后在聚酰亚胺层中利用光刻技术制作空腔。该传感器提高了传感器与周围环境的接触面积，具有响应时间快的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 基于 聚酰亚胺 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种改进型基于聚酰亚胺的湿度传感器，其特征在于在电极板之间涂覆聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感材料，然后在聚酰亚胺薄膜上利用光刻技术制作空腔。
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