[发明专利]一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器有效
| 申请号： | 201210005490.5 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102565000A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 肖金标 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该器件包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波导（4）之间通过多模干涉波导（5）连接；其中，多模干涉波导（5）为锥形；单波长光信号从输入波导（1）输入，在多模干涉波导（5）区域发生多模干涉，基于多模干涉的自成像效应，输入光经过自镜像长度再生，选自镜像长度作为该器件的长度。本发明具有结构紧凑、偏振不敏感、带宽高、制作容差性好，具有大的工作范围等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 硅基槽式 波导 干涉 生物化学 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该传感器包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波导（4）之间通过多模干涉波导（5）连接；其中，多模干涉波导（5）为锥形；单波长光信号从输入波导（1）输入，在多模干涉波导（5）区域发生多模干涉，基于多模干涉的自成像效应，输入光经过自镜像长度再生，选自镜像长度作为该器件的长度。
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