[发明专利]基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法有效
| 申请号： | 201210005030.2 | 申请日： | 2012-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN102526870A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;廖哲勋;朱军 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法，所述方法采用基于湿法刻蚀工艺、UV-LIGA工艺和浇铸工艺，湿法刻蚀用于形成微针针尖结构，UV-LIGA用于实现微针针体部分，然后利用浇铸，形成一个内部中空的微针结构，从而实现出异平面空心微针。本发明利用特制模具浇铸而成，不需要昂贵的加工技术，能够实现快速复制及高速批量生产，而且湿法刻蚀和浇铸操作相对简单，整套工艺流程简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 微细 加工 工艺 平面 空心 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于表面微细加工工艺的异平面空心微针的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：首先准备一块重掺杂p型抛光片作为衬底，在硅片上甩一层正胶并在上面显影出方形图案；然后利用湿法刻蚀工艺，去除暴露出来的氧化硅，得到氧化硅下层的方形图案的硅；再利用湿法刻蚀工艺，对暴露的硅进行各向异性刻蚀，在硅基体上得到四棱锥结构；接着再甩一层负胶，并显影出微针阴模具结构；而后加载金属丝阵列，并用液态高分子材料对其进行浇铸；最后脱模，释放出异平面空心微针结构。
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