[发明专利]带有放射性物质的树脂减容处理装置及其工作方法有效
| 申请号： | 201180067306.3 | 申请日： | 2011-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN103348414A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 片桐源一 | 申请（专利权）人： | 富士电机株式会社 |
| 主分类号： | G21F9/06 | 分类号： | G21F9/06;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 金玉兰;韩明星 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明使等离子体的点燃容易化，并防止等离子体的熄灭。本发明的几种方案的减容处理装置（110）包括有载置被处理树脂（22）的载物台（112）、CCP用电源（180）、ICP用电源（190）。在本发明一种方案的减容处理装置（110）中包括有供给机构（122），CCP用电源（180）在减压状态下向真空容器（114）供给被处理树脂时继续工作。并且，在本发明一种方案的减容处理装置（110）中变更向真空容器（114）供给气体的供给条件时CCP用电源（180）继续工作。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 放射性 物质 树脂 处理 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
一种减容处理装置，其特征在于，具有：可升温的载物台，被设置为载置带有放射性物质的被处理树脂，并被配置在真空容器内；CCP用电源，用于通过电容耦合向所述真空容器内的所述载物台的上方的空间提供电压或电场；ICP用电源，用于通过电感耦合对在所述空间被激发的氧等离子体供电，所述CCP用电源是向所述空间提供点燃所述氧等离子体的电压或电场的电源。
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