[发明专利]用于在多晶硅生产工艺中使用液态氮提纯硅烷的系统和方法有效
| 申请号： | 201180065193.3 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103429979A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | Z.孙;D-C.谢;A.T.程 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | F25J3/08 | 分类号： | F25J3/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谭佐晞;杨楷 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于在多晶硅制造中改进工艺流的低温冷却的系统和方法。所公开的系统和方法提供在制造多晶硅期间的硅烷和氢工艺流的低温冷却，同时从气化的氮回收制冷能力和从冷氢流回收制冷能力。改进的低温冷却系统和方法减少了液态氮的总体消耗，而不会损害硅烷和氢工艺流的低温冷却的冷却性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 生产工艺 使用 液态 提纯 硅烷 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅生产中的氢中硅烷工艺流的低温冷却的方法，所述方法包括以下步骤：使用冷却流和一个或多个经济器来预冷氢中硅烷工艺流；在低温热交换器中用液态氮将所述预冷的工艺流冷却到预定的最终温度；将所述预定的最终温度下的所述冷却的工艺流分离成液态硅烷产物和冷氢流；再循环所述冷氢流，以形成所述一个或多个经济器中的所述冷却流的一部分，以预冷所述工艺流；将用过的氢流的部分或全部从所述一个或多个经济器强制地引导到辅助热交换器中；以及将所述氮流从所述低温热交换器引导到所述辅助热交换器中，以再冷却所述用过的氢流；以及引导所述再冷却的用过的氢流，以形成所述一个或多个经济器中的所述冷却流的一部分，以预冷所述工艺流。
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