[发明专利]色素吸附装置及色素吸附方法

摘要

本发明的色素吸附装置及色素吸附方法能够大幅缩短使色素吸附于在基板的被处理面形成的多孔质的半导体层的工序的处理时间。为了对批处理张数的基板G一齐实施色素吸附处理，该色素吸附单元（20）具备上面开口的处理槽（30）的同时，作为处理槽（30）周围的可动系统而具有：能够从处理槽（30）的上面开口出入处理槽（30）中的载体（32）；用于使该载体（32）出入处理槽（30）的载体搬送部（34）；以及用于可装卸地堵住处理槽（30）的上面开口的上盖（36）。另外，该色素吸附单元（20）具备用于向处理槽（30）内供给色素溶液的色素溶液供给部，并且具备用于在处理中在处理槽内对色素溶液的流动进行控制的流动控制部。

主权项

一种色素吸附装置，其使色素吸附于在基板的被处理面形成的多孔质的半导体层，其中，所述色素吸附装置具有：载体，其将多个所述基板保持成：使所述基板的被处理面朝横向并以可装卸的方式排列成一列；处理槽，其将所述载体以及保持于所述载体的所述多个基板以能够从上面开口出入的方式收容；上盖，其用于堵住所述处理槽的上面开口；第一搬送部，其用于使所述载体出入所述处理槽；色素溶液供给部，其向所述处理槽内供给所述色素溶液，使得在所述处理槽内，被所述载体保持的所述多个基板浸在将所述色素溶解于溶剂而得的色素溶液中；以及流动控制部，其用于在处理中控制所述处理槽内的所述色素溶液的流动。