[发明专利]铜蚀刻废液的处理方法有效
| 申请号： | 201180043075.2 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN103097302A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 中原敏次 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/58 | 分类号： | C02F1/58;C02F1/62;C22B3/44;C22B15/00;C23F1/00;C23F1/18 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张永康;向勇 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种能将高浓度含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的过氧化氢加以有效分解处理的方法。本发明提供了一种铜蚀刻废液的处理方法，其是将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整为pH4以上。如将通常pH为3以下的属于强酸性液的铜蚀刻废液的pH调整为4以上，则会发生含有铜的SS(悬浮污泥)，且所发生的SS能作为过氧化氢的分解催化剂而发挥功能，因此，仅将铜蚀刻废液调整为pH4以上，不需要稀释或加热，并且，不需要调整pH的碱剂以外的药品，就能有效分解铜蚀刻废液中的过氧化氢。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，其包含将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整至pH4以上的工序。
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