[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

摘要

依次配置蒸镀源（60）、多个限制板（81）和蒸镀掩模（70）。使基板相对于蒸镀掩模以隔开一定间隔的状态相对地移动。从蒸镀源的蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过相邻的限制板之间，并通过在蒸镀掩模形成的掩模开口（71）附着于基板，而形成覆膜（90）。限制板限制向掩模开口入射的蒸镀颗粒的、沿基板的相对移动方向看时的入射角度。由此，在大型的基板也能够以不扩大像素间距、不降低开口率等的方式形成有机EL元件。

主权项

一种有机EL元件的制造方法，其特征在于：其是在基板上具有规定图案的覆膜的有机EL元件的制造方法，所述有机EL元件的制造方法具有使蒸镀颗粒附着于所述基板上而形成所述覆膜的蒸镀工序，在所述蒸镀工序中，使用包括蒸镀源和蒸镀掩模的蒸镀单元，在使所述基板与所述蒸镀掩模隔开一定间隔的状态下，一边使所述基板和所述蒸镀单元中的一个相对于另一个相对地移动，一边使通过在所述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的所述蒸镀颗粒附着于所述基板，其中，所述蒸镀源包括放出所述蒸镀颗粒的蒸镀源开口，所述蒸镀掩模配置于所述蒸镀源开口与所述基板之间，当将所述基板和所述蒸镀单元间的相对移动方向设为第一方向，将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述蒸镀单元在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间包括在所述第二方向上的位置不同的多个限制板，所述多个限制板中的各个限制板，对向所述多个掩模开口中的各个掩模开口入射的所述蒸镀颗粒的沿所述第一方向看时的入射角度进行限制。