[发明专利]模具和模具的制造方法

摘要

本发明的目的在于在模具的制造中抑制铝层的粘接性的降低，本发明的模具的制造方法包含：工序(a)，准备模具基材(10)；工序(b)，形成多孔氧化铝层(19)，上述多孔氧化铝层(19)具有规定多个微细的凹部(19p)的多孔层(19a)和设置在多个微细的凹部(19p)各自的底部的阻挡层(19b)；以及工序(c)，在工序(b)后进行蚀刻，使多孔氧化铝层(19)的多个微细的凹部(19p)扩大，在工序(c)中，以多个微细的凹部(19p)的平均深度增加但不超过进行蚀刻前的阻挡层(19b)的平均厚度的1/7的方式进行蚀刻。

主权项

一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的2维大小是10nm以上且不到500nm的多个凹部，上述模具的制造方法包含：工序(a)，准备模具基材，上述模具基材具有：基材；无机基底层，其形成在上述基材上；缓冲层，其形成在上述无机基底层上；以及铝层，其形成在上述缓冲层上；工序(b)，对上述铝层部分地进行阳极氧化，由此形成多孔氧化铝层，上述多孔氧化铝层具有规定多个微细的凹部的多孔层和设置在上述多个微细的凹部各自的底部的阻挡层；以及工序(c)，在上述工序(b)后，通过使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触来进行蚀刻，使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大，在上述工序(c)中，以上述多个微细的凹部的平均深度增加但不超过进行上述蚀刻前的上述阻挡层的平均厚度的1/7的方式进行上述蚀刻。