[发明专利]用于装载衬底的方法和设备无效
| 申请号： | 201180020231.3 | 申请日： | 2011-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102859443A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | A·索斯奥德特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种方法和设备，用于将衬底(W)装载到衬底台(WT)上然后移动衬底台使得，在衬底的参照系中，衬底台以至少为重力加速度的10％的加速度向下加速，由此减小衬底和衬底台之间的摩擦使得衬底的变形可以至少部分地从衬底消除。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装载 衬底 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：将衬底装载到衬底台上，然后移动衬底台，使得在衬底的参照系中衬底台以至少为重力加速度的10％的加速度向下加速，由此减小衬底和衬底台之间的摩擦使得衬底的变形能够至少部分地从衬底消除。
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