[发明专利]调整泵的速度的装置和方法有效
| 申请号： | 201180009783.4 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102753827A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | G.R.谢利;M.K.罗梅奥;J.R.施瓦布 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/00 | 分类号： | F04B49/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 陈国慧;傅永霄 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种利用自动化方法将泵的速度调整到最佳或期望速度的装置。所述装置包括连接到腔室用于从所述腔室排出气体的真空泵。传感器测量一个或多个特性，例如所述腔室中的气体的压力。将所测量的特性与预定值比较。真空泵的速度基于所述比较来调节，直到它落入期望范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 速度 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种调整泵的速度的装置，包括：真空泵，连接到腔室，用于从所述腔室排出气体；传感器，联接到所述腔室，用于测量所述腔室中的气体的特性；以及控制器，联接到所述传感器以及所述真空泵，用于响应于由所述传感器生成的信号调节所述真空泵的速度，从而指示所述腔室中的气体的测量特性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱德华兹有限公司，未经爱德华兹有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180009783.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
