[实用新型]多晶硅铸锭炉石墨坩埚有效
申请号: | 201120539818.2 | 申请日: | 2011-12-21 |
公开(公告)号: | CN202415744U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 査建洪;施宇峰;査如德 | 申请(专利权)人: | 江阴市华英光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214444 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚,属于多晶硅生产设备技术领域。它包括底板(1),所述底板(1)上设置有四块首尾相接的侧板(2),所述侧板(2)顶部开设有两个或两个以上的通气槽(3)。本实用新型一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚,其侧板顶部开设有通气槽,有利于热场内冷却气体的流通,提高了热场内的散热速度,极大的改善了多晶硅结晶的质量,从而提高了多晶硅晶体的良品率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚,它包括底板(1),所述底板(1)上设置有四块首尾相接的侧板(2),其特征在于:所述侧板(2)顶部开设有两个或两个以上的通气槽(3)。
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