[实用新型]一种用于真空管镀膜的复合真空管工架

摘要

一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、及同轴固装的大齿轮、真空管工架及其底端设置的工架主轴，工架主轴上安装工架齿轮；其特征是：绕大转盘在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘固装在一自转轴上且同轴安装小齿轮，小齿轮与大齿轮啮合；各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；与小转盘同轴安装二级传动齿轮；在小转盘上方绕其轴线均布设置多个真空管工架；工架齿轮与二级传动齿轮啮合；工架主轴通过轴承安装在小转盘上；大齿轮与各小齿轮的传动比相同；二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。它可提高真空管镀膜效率，节省生产成本，也降低了真空镀膜对真空室操作空间的要求，还减少了靶材浪费。

主权项

一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、与大转盘同轴固装的大齿轮；还包括真空管工架，所述真空管工架底端设置一工架主轴，该工架主轴上安装有工架齿轮；其特征是：绕所述大转盘的轴线在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘中心处分别固装一根自转轴且同轴安装有小齿轮，所述各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；所述小齿轮与所述大齿轮啮合；与所述小转盘还同轴安装有二级传动齿轮；在每个小转盘上方且绕小转盘轴线均布设置至少两个真空管工架；所述工架齿轮与所述二级传动齿轮啮合；所述工架主轴通过轴承安装在小转盘上；所述大齿轮与各小齿轮之间的传动比相同；所述二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。