[实用新型]多晶铸锭炉真空系统有效
| 申请号： | 201120465985.7 | 申请日： | 2011-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN202348615U | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 汪学鋆;王国民 | 申请（专利权）人： | 台州力鑫真空设备有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;C30B35/00;C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 318000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶铸锭炉真空系统，所述的多晶铸锭炉真空系统包含由罗茨真空泵(2)和滑阀真空泵(1)通过连接弯管(3)直接连接而成的真空机组，所述滑阀真空泵(1)的高缸的内部包含压力控制器(15)、第一电磁阀(12)和第二电磁阀(13)，所述弯管(3)上设有检漏口(31)和维持抽气口(32)。既能快速抽到较低压力，也能长期工作在较高压力下，通过罗茨真空泵、滑阀真空泵和连接弯管组成的真空机组来实现，具有结构紧凑、抽气能力强、振动小、使用寿命长的优点。而且本实用新型进一步在排气口上设有油雾消除器，能够提高排出气体的质量，减轻对环境的污染，安全可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 真空 系统 | ||
【主权项】：
多晶铸锭炉真空系统，其特征在于，所述的多晶铸锭炉真空系统包含由罗茨真空泵(2)和滑阀真空泵(1)通过连接弯管(3)直接连接而成的真空机组，所述滑阀真空泵(1)的高缸的内部包含压力控制器(15)、第一电磁阀(12)和第二电磁阀(13)，所述弯管(3)上设有检漏口(31)和维持抽气口(32)。
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