[实用新型]三维微纳米接触扫描探头

摘要

本实用新型公开了一种三维微纳米接触扫描探头，其特征是在前段圆筒内，迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中；在后段圆筒中，二维角度传感器固定安装在安装板上；在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环，在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片中各悬臂通过各悬臂簧片与固定圆环相连接，形成悬浮结构；在十字悬浮片上分别设置一中央平面反光镜和至少一个悬臂平面反光镜；迈克尔逊干涉仪的出射光投射在中央平面反光镜上，二维角度传感器的出射光投射在悬臂平面反射镜上；在十字悬浮片朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针固定安装在十字悬浮片的中心。本实用新型能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。

主权项

三维微纳米接触扫描探头，其特征是：设置测量单元为：前段圆筒(1a)和后段圆筒(1b)相连接构成筒体；在所述前段圆筒(1a)内，防回射微型迈克尔逊干涉仪(2)固定设置在安装盒(3a)中；在所述后段圆筒(1b)中，基于DVD光学读取头的二维角度传感器(4)固定安装在安装板(5a)上；在所述后段圆筒(1b)的尾部设置一带有外螺纹的圆筒盖(7)，以圆筒盖(7)上的外螺纹与纳米三坐标测量机的机架固定连接；设置探测头(6)为：在所述前段圆筒(1a)的前端面上设置一固定圆环(8)，在固定圆环(8)的中央设置十字悬浮片(9)，所述十字悬浮片(9)中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片(10)，所述各悬臂簧片(10)的另一端与固定圆环(8)相连接，形成十字悬浮片(9)在固定圆环(8)中的悬浮结构；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片(9)的中央位置处设置一中央平面反光镜(13a)，处在所述十字悬浮片(9)的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜(13b)；所述迈克尔逊干涉仪(2)的出射光投射在所述中央平面反光镜(13a)上，所述二维角度传感器(4)的出射光投射在所述悬臂平面反射镜(13b)上；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针(11)固定安装在所述十字悬浮片(9)的中心，处在扫描探头最前端的测球(12)固定安装在扫描探针(11)的端部。