[实用新型]一种光罩检测设备有效
| 申请号： | 201120346140.6 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN202230031U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 王昌花 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源，从而，双显微镜机构可同时进行光罩两侧范围的检测，而不用对光罩进行旋转，避免了光罩在旋转过程中的刮伤及报废；另外可统一缺陷坐标系统，保证了光罩缺陷的完全检测及修复，保证了出货品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，其特征在于，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源。
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