[实用新型]多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统有效
| 申请号： | 201120324244.7 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN202226742U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 汪应军;詹迎春 | 申请（专利权）人： | 湖北晶星科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/10 | 分类号： | C02F9/10;B01D53/78;C01B33/107 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 441300 湖北省随州市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统，包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根管线，洗涤塔分别连接再蒸发器和残液闪蒸罐，再蒸发器连接残液闪蒸罐，残液闪蒸罐连接尾气洗涤塔，尾气洗涤塔下端设置碱液池，连接洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔的管线外缠绕蒸汽半管保温管，有效地解决了含有氯硅烷聚合物、重金属氯化物等废液废渣在传输过程中易堵塞管道的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产过程 中的 硅烷 闪蒸 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统，其特征在于：包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根连接在洗涤塔与再蒸发器之间、洗涤塔与残液闪蒸罐之间、再蒸发器与残液闪蒸罐之间、残液闪蒸罐与尾气洗涤塔之间的管线，所述管线外缠绕有蒸汽半管保温管，所述碱液池设置在尾气洗涤塔下端。
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