[实用新型]一种滴水系统有效
| 申请号： | 201120299420.6 | 申请日： | 2011-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN202226922U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L21/304 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于清洗设备和湿法处理设备中的一种滴水系统，其包括恒压桶（3）、通过一管路（1）与该恒压桶（3）的底部并联连接的多个阀门（4），各阀门（4）的出水口连接一滴水刀（5）。本实用新型将水均匀滴满硅片整个上表面，具有保护硅片上表面不受酸气腐蚀，反应槽的药液不会蔓延到硅片上表面。减小刻蚀线宽度，保证硅片四周都能被刻蚀。从而具有提高生产的进度以及降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滴水 系统 | ||
【主权项】：
一种滴水系统，其特征在于，包括恒压桶（3）、通过一管路（1）与该恒压桶（3）的底部并联连接的多个阀门（4），各阀门（4）的出水口连接一滴水刀（5）。
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