[实用新型]清洗装置有效
| 申请号： | 201120294140.6 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202207682U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 曹肖肖;巩雨锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗装置，用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管，该种清洗装置包括倒U型水管架，所述倒U型水管架上设有进水管、进酸管、水泵、杂质过滤器、排水管以及两波纹管，所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体，所述待清洗管两端分别通过两连接件与两波纹管密封连接，所述待清洗管与倒U型水管架构成循环流路。本实用新型的优点是结构简单，成本低，提高生产效率，降低劳动力，清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗装置，用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管，其特征在于：包括水管架，水管架上设有进水管、进酸管、排水管、水泵、杂质分离器以及两波纹管，所述待清洗管与波纹管连接并与水管架构成循环流路，所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体。
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