[实用新型]防单晶炉加热器螺栓断裂的装置有效
申请号: | 201120269579.3 | 申请日: | 2011-07-28 |
公开(公告)号: | CN202148364U | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 孙志兰;周静;李长喜 | 申请(专利权)人: | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213200 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒,保温筒内圈设有加热器,加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚,坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托,加热器通过螺栓固定在炉体的底盘上,螺栓上安装有螺帽保护罩。本实用新型的防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,通过在螺栓上增加螺帽保护罩,使得安装在加热器上的螺栓避免了加热器温度的直射,延长了螺栓的使用寿命,减少打火事故的发生,提高了单晶炉热场的安全性能。 | ||
搜索关键词: | 防单晶炉 加热器 螺栓 断裂 装置 | ||
【主权项】:
一种防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设有由埚杆(4)支撑的坩埚(3),所述的坩埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于坩埚(3)底面的埚托(3‑1),所述的加热器(2)通过螺栓(5)固定在炉体的底盘上,其特征在于:所述的螺栓(5)上安装有螺帽保护罩(6)。
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