[实用新型]整体导轨结构扫描工作台有效
申请号: | 201120265443.5 | 申请日: | 2011-07-26 |
公开(公告)号: | CN202221299U | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 李正贤;丁天祥 | 申请(专利权)人: | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;G01B11/06 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种整体导轨结构扫描工作台,包括机台,其中,一中溜板,固定在所述机台上,所述中溜板上设置有第一向丝杠;第一向扫描台,位于所述中溜板上方,所述第一向扫描台底部螺纹连接所述第一向丝杠,所述第一向扫描台上表面设置有一第二向丝杠,所述第二向丝杠与所述第一向丝杠垂直;第一向电机,固定在所述中溜板边缘对应所述第一向丝杠的位置,所述第一向电机的轴端连接所述第一向丝杠;第二向扫描台,位于所述第一向扫描台上方,所述第二向扫描台底部螺纹连接所述第二向丝杠;第二向电机,固定在所述第一向扫描台边缘对应所述第二向丝杠的位置,所述第二向电机的轴端连接所述第二向丝杠。 | ||
搜索关键词: | 整体 导轨 结构 扫描 工作台 | ||
【主权项】:
一种整体导轨结构扫描工作台,包括机台,其特征在于:中溜板,固定在所述机台上,所述中溜板上设置有第一向丝杠;第一向扫描台,位于所述中溜板上方,所述第一向扫描台底部螺纹连接所述第一向丝杠,所述第一向扫描台上表面设置有一第二向丝杠,所述第二向丝杠与所述第一向丝杠垂直;第一向电机,固定在所述中溜板边缘对应所述第一向丝杠的位置,所述第一向电机的轴端连接所述第一向丝杠;第二向扫描台,位于所述第一向扫描台上方,所述第二向扫描台底部螺纹连接所述第二向丝杠;第二向电机,固定在所述第一向扫描台边缘对应所述第二向丝杠的位置,所述第二向电机的轴端连接所述第二向丝杠。
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