[实用新型]含涂层的SiC复合坩埚有效
| 申请号： | 201120224898.2 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN202164379U | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 张洪齐 | 申请（专利权）人： | 罗万前 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610067 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种含涂层的SiC复合坩埚。本坩埚由SiC复合坩埚坯和耐高温隔离涂层组成；在热压机内压制并固化树脂与SiC颗粒的混合物成坩埚毛坯，用高温无氧炭化的方法使之转化成SiC复合坩埚坯；再加高温隔离层后，即为本实用新型的含涂层的SiC复合坩埚。本坩埚寿命长，对埚内的熔融硅污染极小；可大量生产此坩埚，且节能，环保。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 sic 复合 坩埚 | ||
【主权项】：
含涂层的SiC复合坩埚，其特征在于：本坩埚由SiC复合坩埚坯和内表面涂层构成。
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