[实用新型]一种减压干燥设备有效
| 申请号： | 201120192355.7 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN202067075U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李勃 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种减压干燥设备，所述减压干燥设备腔室的至少一个盖板上具有抽气孔，其中，所述盖板上距离中心位置越近的区域，抽气孔的分布密度越大；盖板上距离中心位置越远的区域，抽气孔的分布密度越小。本实用新型实施例通过布局减压干燥设备抽气孔的模式，可以保证整个基板范围内的减压干燥过程中抽气时的流动均匀性，保证光阻在减压干燥过程中的均匀性，从而提高光阻的厚度和角度在整个基板上分布的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减压 干燥设备 | ||
【主权项】：
一种减压干燥设备，其特征在于，所述减压干燥设备腔室的至少一个盖板上具有抽气孔，其中，所述盖板上距离中心位置越近的区域，抽气孔的分布密度越大；盖板上距离中心位置越远的区域，抽气孔的分布密度越小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120192355.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
