[实用新型]一种扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种扩散炉，涉及稀有金属粉体的煅烧、半导体材料的扩散和氧化以及光伏行业氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工艺技术领域，所要解决的技术问题是提供一种具有温度均匀稳定、温度扰动小、升温速度快等特点的一种扩散炉。其技术要点是机械框架上部固定炉膛、下部为控制柜，控制柜内安装有气氛系统和电气元件，炉膛双炉管设计，分上、下两层，每层一个炉膛、每个炉膛分3个温区，温区间设计有隔板结构，炉管材质选用高纯气炼石英，炉管可以自由进出炉膛，炉管一端带有可以拆卸的石英管帽，炉管与管帽采用磨砂结合油脂密封，炉管另一端接气氛系统。本实用新型操作简单，维护、维修十分方便。

主权项

一种扩散炉，主要由机械框架(1)、炉膛(2)、控制柜(3)和炉管(8)等组成，炉膛(2)采用FEC陶瓷纤维加热器(9)加热，圆周式布置，耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料咬口拼装而成，耐火层(10)、保温层(11)材质分别选用高铝纤维和硅酸铝纤维，其特征在于：所述的机械框架(1)为上下结构，上部固定炉膛(2)、下部为控制柜(3)，控制柜(3)内安装有气氛系统(4)和电气元件(5)，框架底部装有滚轮(6)。