[实用新型]用于等离子体源的微波天线上的保护管的覆层防护体无效
| 申请号： | 201120166692.9 | 申请日： | 2011-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202077261U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | M·普吕施特尔;H·梅利希;P·沃尔夫;M·蒂尔格纳;K·乌利希 | 申请（专利权）人： | 德国罗特·劳股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 谢志刚 |
| 地址： | 德国霍恩施泰*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于等离子体源的微波天线上的保护管(1)的覆层防护体，其中，保护管(1)使等离子体腔室与大气分隔开。作为覆层防护体，保护管(1)被用耐热高至至少180℃的织物或毡包封。该织物或毡可由合成树脂纤维、玻璃纤维或陶瓷纤维构成。该织物或毡可构造为软管形的或者作为带子这样倾斜于保护管的纵轴线地缠绕保护管(1)，使得带子彼此紧靠或者至少部分地彼此重叠。该织物或毡可借助至少180℃稳定的合成树脂粘合剂粘接在保护管上。该覆层防护体有效地减少等离子体过程期间增长的覆层的剥落并且在相应的方法中防止保护管表面上出现溅射效果或者说大大减小溅射效果的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 微波 天线 保护 覆层 防护 | ||
【主权项】：
等离子体源的微波天线上的保护管(1)的覆层防护体，其中，保护管(1)使等离子体腔室与大气分隔开，其特征在于，所述保护管(1)被用耐热高至至少180℃的织物或毡包封。
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