[实用新型]一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置无效
| 申请号： | 201120162810.9 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN202070276U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 曾启明;钟雨明;牟树荣;张学文;李园华 | 申请（专利权）人： | 四川亚连科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;C01B3/52;C01B7/07;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，包括依次连通的热交换器、洗涤塔、加热器、设置有溶液出口和蒸汽出口的气液分离器，所述热交换器设置有进气口和出气口，所述洗涤塔内部设置有填料，还包括与洗涤塔两端连通的氯硅烷溶液泵，所述氯硅烷溶液泵通过管道与加热器连通。该净化装置流程简单，有效地提高了回收效率，降低了生产成本，为后续生产提供了原料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 尾气 循环 冷凝 洗涤 净化 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，包括依次连通的热交换器（1）、洗涤塔（2）、加热器（6）、设置有溶液出口（9）和蒸汽出口（8）的气液分离器（7），所述热交换器（1）设置有进气口（10）和出气口（11），所述洗涤塔（2）内部设置有填料（3），其特征在于：还包括与洗涤塔（2）两端连通的氯硅烷溶液泵（4），所述氯硅烷溶液泵（4）通过管道与加热器（6）连通。
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