[实用新型]混合不同流速气体的装置有效
| 申请号： | 201120148484.6 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202096901U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 周宁;徐朝阳;周旭升 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01F5/00 | 分类号： | B01F5/00;B01F3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了混合不同流速气体的装置，包含高速气体进气通道、慢速气体进气通道及气体混合通道，所述的高速气体进气通道和慢速气体进气通道分别与气体混合通道相连接，高速气体和慢速气体汇集到气体混合通道中，还包含导流块，所述的导流块包含导流槽；所述的导流槽的第一端设在慢速进气通道中，导流槽的第二端设在气体混合通道中。本实用新型能够减小了气体扩散的距离，使得调制气体与工艺气体的混合距离缩短，混合速度加快，混合质量显著提高，混合后的刻蚀气体的品质大大提升，进而提高了对电路板的刻蚀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 不同 流速 气体 装置 | ||
【主权项】：
混合不同流速气体的装置，包含高速气体进气通道（1）、慢速气体进气通道（2）及气体混合通道（3），所述的高速气体进气通道（1）和慢速气体进气通道（2）分别与气体混合通道（3）相连接，高速气体和慢速气体汇集到气体混合通道（3）中，其特征在于，还包含导流块（4），所述的导流块（4）包含导流槽（43）；所述的导流槽（43）的第一端设在慢速进气通道中，导流槽（43）的第二端设在气体混合通道（3）中。
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