[实用新型]光学薄膜成膜的直接式光学监控系统

摘要

一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，涉及光学薄膜成膜技术领域，所解决的是保证膜厚控制精度的同时提高产能的技术问题。该系统包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置，所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘，所述光源灯泡及聚光透镜组件均安装在成膜腔体内，所述光接收装置经光纤及聚光透镜组件光路连接光源灯泡；所述成膜腔体内固设有一透镜支架、一光源支架，所述透镜支架及光源支架的架体均从工件盘中部延伸至工件盘边缘；所述聚光透镜组件固定在透镜固定件上，所述光源灯泡固定在光源固定件上，且聚光透镜组件及光源灯泡的固定位置均可调节。本实用新型提供的系统，为兼顾精度与产能提供了可调节手段。

主权项

一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置，所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘，所述光源灯泡及聚光透镜组件均安装在成膜腔体内，所述光纤的输出端连接光接收装置，其受光端经聚光透镜组件光路连接光源灯泡，且所述聚光透镜组件与光源灯泡之间的连接光路穿过工件盘；其特征在于：所述成膜腔体内固设有一透镜支架、一光源支架，所述透镜支架及光源支架分别位于工件盘的上下两侧，且透镜支架及光源支架的架体均从工件盘中部延伸至工件盘边缘；所述透镜支架上设有沿工件盘的径向移动的透镜固定件，并设有用于固定透镜固定件位置的透镜定位件，所述聚光透镜组件固定在透镜固定件上；所述光源支架上设有沿工件盘的径向移动的光源固定件，并设有用于固定光源固定件位置的光源定位件，所述光源灯泡固定在光源固定件上。