[实用新型]大面积高功率微波等离子体环形微波腔及其构成的装置有效
| 申请号： | 201120080747.4 | 申请日： | 2011-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN201947524U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 季天仁;季宇 | 申请（专利权）人： | 季天仁;季宇;刁宇 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 610000 四川省成都市成华*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大面积高功率微波等离子体环形微波腔，主要由两端均密封的环形谐振腔（1）、以及设置在环形谐振腔（1）内部的基片座（6）构成，所述环形谐振腔（1）设置有进气口（2）和抽气口（3），环形谐振腔（1）的下端和上端分别连接有同轴耦合器（4）和微波抑制器（5），且同轴耦合器（4）的一端延伸至环形谐振腔（1）的外部。本实用新型还公开了一种基于上述大面积高功率微波等离子体环形微波腔构成的装置。本实用新型能用于大面积、高功率微波等离子体化学气相沉积，制备大面积高品质金刚石厚膜的，多用途的环形微波腔及其构成的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 功率 微波 等离子体 环形 及其 构成 装置 | ||
【主权项】：
大面积高功率微波等离子体环形微波腔，其特征在于，主要由两端均密封的环形谐振腔（1）、以及设置在环形谐振腔（1）内部的基片座（6）构成，所述环形谐振腔（1）设置有进气口（2）和抽气口（3），环形谐振腔（1）的下端和上端分别连接有同轴耦合器（4）和微波抑制器（5），且同轴耦合器（4）的一端延伸至环形谐振腔（1）的外部。
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