[实用新型]一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，包括坩埚、雾化头、氮化硅浆容器、压缩空气站，所述坩埚通过支架固定，坩埚与水平面呈60°角，坩埚底端设置有排水口，所述雾化头设置在坩埚内部顶端，所述氮化硅浆容器与雾化头之间通过导管连接，氮化硅浆容器内设置有搅拌器，所述导管上连接有压缩空气站。本实用新型能方便、有效地在石英坩埚内壁喷涂一层氮化硅涂层，阻止高温熔融的硅液与坩埚发生反应，避免出现粘锅现象，同时在坩埚内壁涂覆有氮化硅层，替代了高纯石英坩埚的使用，节约了成本，坩埚底部设置有排水口，将多余的氮化硅溶液收集，可循环利用。

主权项

一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的喷涂装置，包括坩埚(1)、雾化头(3)、氮化硅浆容器(4)、压缩空气站(8)，其特征在于：所述坩埚(1)通过支架(2)固定，坩埚(1)底端设置有排水口(9)，所述雾化头(3)设置在坩埚(1)内部顶端，所述氮化硅浆容器(4)与雾化头(3)之间通过导管(5)连接，所述导管(5)上连接有压缩空气站(8)。