[实用新型]多用途全密封液体反应源真空蒸发器

摘要

本实用新型涉及多用途全密封液体反应源真空蒸发器，主要由蒸发器腔体、密封端盖、蒸发气出管、液位计、恒温夹层组成，所述蒸发器腔体和密封端盖通过法兰连接，蒸发气出管位于密封端盖上，液位计沿侧壁插入蒸发器腔体中，所述蒸发器腔体外有一恒温夹层，所述恒温夹层有上下两个接头，其中一个接头连有油泵或水泵，另外一个接头连有恒温油箱或恒温水箱，在蒸发器腔体内插入两个附加管，该附加管分别连有液体反应源储存罐和真空气体流量计。本实用新型不仅能精确控制和恒定液体反应源的蒸发温度，而且能实现液体反应源的无污染有效灌装。

主权项

多用途全密封液体反应源真空蒸发器，主要由蒸发器腔体(1)、密封端盖(2)、蒸发气出管(9)、液位计(7)、恒温夹层(4)组成，所述蒸发器腔体(1)和密封端盖(2)通过法兰(3)连接，蒸发气出管(9)位于密封端盖(2)上，液位计(7)沿侧壁插入蒸发器腔体(1)中，其特征在于，所述蒸发器腔体外有一恒温夹层(4)，所述蒸发器腔体和恒温夹层之间有支撑胎板(5)，所述恒温夹层(4)有上下两个接头(6)，其中一个接头连有油泵或水泵，另外一个接头连有恒温油箱或恒温水箱。