[发明专利]用于与外涂的光刻胶一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201110463289.7 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102591154A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | V·简恩;O·昂格伊;S·克雷;A·赞皮尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于与外涂的光刻胶一起使用的涂料组合物。提供了有机涂料组合物，特别是减反射涂料组合物，其包含这样的组分，该组分包含一种或多种仲班酸部分。优选本发明的组合物能够用于减少曝光辐射从基底返回到外涂的光刻胶层中的反射和/或充当平坦化的、保形的或者塞孔层。提供了一种涂覆的基底，所述涂覆的基底包含：(a)在基底上的涂料组合物层，该涂料组合物包含这样的组分，该组分包含一种或多种仲班酸部分；和(b)在该涂料组合物层上的光刻胶层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
一种涂覆的基底，所述涂覆的基底包含：(a)在基底上的涂料组合物层，该涂料组合物包含这样的组分，该组分包含一种或多种仲班酸部分；和(b)在该涂料组合物层上的光刻胶层。
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