[发明专利]刻蚀装置和刻蚀方法无效
| 申请号： | 201110459321.4 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103794428A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 宋利建;车志广 | 申请（专利权）人： | 四川虹欧显示器件有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;余刚 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刻蚀装置和刻蚀方法，其中，刻蚀装置包括：并行设置的多个喷管(1)和与喷管(1)连接的第一喷嘴，刻蚀装置还包括：喷液装置(3)，位于喷管(1)的上游侧，喷液装置(3)包括：液体注入部；液体存储部(5)，与液体注入部连通；第二喷嘴(6)，位于液体存储部(5)的底部。本发明有效地解决了刻蚀不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种刻蚀装置，包括：并行设置的多个喷管(1)和与所述喷管(1)连接的第一喷嘴，其特征在于，所述刻蚀装置还包括：喷液装置(3)，位于喷管(1)的上游侧，所述喷液装置(3)包括：液体注入部；液体存储部(5)，与所述液体注入部连通；第二喷嘴(6)，位于所述液体存储部(5)的底部。
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