[发明专利]一种光栅尺周期内精度的自动检测装置有效
申请号: | 201110449419.1 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN102564307A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 曾琪峰;吴宏圣;乔栋;孟辉;孙强;张立华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 陶尊新 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种光栅尺周期内精度的自动检测装置,涉及一种光栅尺周期内精度的自动检测装置,它解决现有测量方法采用标准件作为待检测光栅尺的衡量标准时存在误差,设备费用较高,同时设备的结构存在误差,检验精度受到标准件限制的问题,该装置包括数据采集模块、速度计算模块、数据存储模块和数据分析模块,数据采集模块从读数头中采集读数头在主光栅上位置值;速度计算模块根据数据采集模块采集的读数头在主光栅上的位置值并计算当前的读数头在主光栅上的移位速度;数据存储模块根据速度计算模块获得的读数头的移位速度对读数头在主光栅上的位置值进行选择;数据分析模块通过数据存储模块选择读数头的位置值进行统计分析并获得分析结果。 | ||
搜索关键词: | 一种 光栅尺 周期 精度 自动检测 装置 | ||
【主权项】:
一种光栅尺周期内精度的自动检测装置,该装置包括数据采集模块(23)、速度计算模块(22)、数据存储模块(24)和数据分析模块(25),其特征是,所述数据采集模块(23)从读数头(11)中采集读数头(11)在主光栅(12)上位置值;所述速度计算模块(22)根据数据采集模块(23)采集的读数头(11)在主光栅(12)上的位置值并计算当前的读数头(11)在主光栅(12)上的移位速度;所述数据存储模块(24)根据速度计算模块(22)获得的读数头(11)的移位速度对数据采集模块(23)采集的读数头(11)在主光栅(12)上的位置值进行选择,所述数据分析模块(25)通过数据存储模块(24)选择的读数头(11)在主光栅(12)上的位置值进行统计分析并获得分析结果。
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