[发明专利]一种铈基抛光液残留物的清洗方法有效
申请号: | 201110430321.1 | 申请日: | 2011-12-15 |
公开(公告)号: | CN102517594A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 马瑾;郭云飞;张艳 | 申请(专利权)人: | 西安北方捷瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | C23G1/02 | 分类号: | C23G1/02 |
代理公司: | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 710075 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种铈基抛光液残留物的清洗方法,包括:1)采用HNO3∶H2O2∶H2O酸性溶液清洗零件表面残留的铈基抛光粉;2)用纯水喷淋的方式清洗从步骤1)中取出的零件;3)量取纯水,称取乙二胺四乙酸(EDTA)和氢氧化钠,并完全溶解于纯水中;4)取步骤3)中已经配制好的溶液稀释于纯水中,放置电炉上煮沸;5)将步骤2)洗好的 零件放入步骤4)溶液中煮沸;6)用纯水喷淋方式清洗从步骤5)中取出的零件。本发明方法利用酸性溶液溶解大部分残余抛光粉;利用EDTA试剂与铈基金属铬合,将零件表面残余金属离子经络合、沉淀后脱离零件表面;再利用氢氧化钠去除抛光液中有机物,使得零件表面的残留抛光粉易清洗、时间短,对零件表面的微粗糙度影响小。 | ||
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【主权项】:
一种铈基抛光液残留物的清洗方法,包括以下步骤:1)采用体积比为HNO3∶H2O2∶H2O=1∶1∶1的酸性溶液清洗零件表面残留的铈基抛光粉;2)用纯水喷淋的方式清洗从步骤1)中取出的零件,清洗5min;3)量取纯水600ml,称取乙二胺四乙酸8g和氢氧化钠3.5‑4g,并完全溶解于所述600ml纯水中;4)取步骤3)中已经配制好的溶液稀释至2‑5倍纯水中,放置电炉上煮沸;5)将步骤2)中洗好的零件放入步骤4)的溶液中煮沸;6)用纯水喷淋的方式清洗从步骤5)中取出的零件,清洗5min,即完成铈基抛光液残留物的清洗。
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